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微波等離子體CVD法制備金剛石膜的研究

  微波等離子體化學氣相沉積(MWPCVD)是一種新的薄膜制備方法,本文在自行研制的水冷反應室式MWPCVD裝置中用這種方法進行制備金剛石膜的工藝研究。   首先詳細解釋了水冷反應室式MWPCVD裝置的工作原理、結構和……

什么是等離子體

     宏觀物質在一定壓強下隨溫度升高,由固態變為液態,再變為氣態,有的直接從固態變為氣態。那么對于氣態物質再繼續升高溫度,將會有什么變化呢?      我們知道,溫度越高,表明物……