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UP-920薄膜應力測量儀

2017-03-24 作者: admin

應用:

自動測量采集計算曲率半徑和薄膜殘余應力 ;

薄膜應力測量儀.png

產品特性:

薄膜應力測試范圍:5 MPa~50GPa,誤差<±2% ; 

曲率半徑測試范圍 :0.3~ 20 m ,誤差<±1% ;

測試平臺行程:X方向:100 mm / Y方向:50 mm ;

自動校正功能:可自動定位長方形樣品的原點,并計算校正原始表面不平直影響(對減模式) ;

電源功耗:最大280w;

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