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遠程微波等離子體材料處理

2017-03-24 作者: admin

應用:

    高聚物材料表面改性

    表面清洗,如PCB、FPC、電子元件和醫療器材等

    半導體表面去膠

遠程微波等離子體材料處理裝置.jpg

產品特性:

    本品采用遠程微波等離子體(Remote Microwave Plasma),等離子體產生效率高,樣品處理均勻;

    真空系統采用2XZ-2型旋片真空泵,極限真空6×10^-2帕;

    2~4路氣體輸入,1路或2路進入微波等離子體源處形成遠程等離子體進入反應室,另外的氣路由反應室內頂部(樣品臺上方)呈環形均流輸入。可用氮氣、氧氣、氦氣和大氣等常用氣體;    

    等離子體發生區中心距反應室頂部距離為400mm~600mm,可根據用戶實際需要加工的材料,對等離子體強度進行訂制。  

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