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UP-120 不銹鋼腔體式微波等離子體材料處理裝置

2017-03-24 作者: admin

應用:

材料表面改性

醫療器材表面滅菌消毒

表面清洗,如PCB、FPC、電子元件等

clbmcl.png

產品特性:

本品采用直接微波等離子體(Remote Microwave Plasma),等離子體產生效率高,樣品處理均勻;

由微波系統、等離子體發生室、樣品處理室、氣路系統、真空系統和循環水冷卻系統組成;

樣品處理室ф262(內徑)×165(高),容積35.58L。左、右側及前門上各有一個(共3個)ф50觀察窗,樣品裝卸門146(寬)×68(高),內有ф120(直徑)水平樣品臺,樣品臺面離樣品處理室底面高度兩級可調節27-57-87。 樣品臺升降架精巧豪華,方便調諧和樣品取放。                                                    

等離子體發生室ф144(內徑)×96(高)處于樣品處理室之上。

2~4路氣體輸入由反應室內頂部(樣品臺上方)呈環形均流輸入。可用氮氣、氧氣、氦氣和大氣等常用氣體。流量控制可用玻璃轉子流量計或者MFC;

可長時間連續工作,配循環水冷系統,環保經濟;

常規采用機械真空泵,可選配擴散泵與渦輪分子泵;

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