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UP-240大面積線形陣列微波等離子體裝置

2017-03-23 作者: admin

功率/尺寸可模塊式配置

適合的應用:

    化學氣相法沉積大面積碳納米薄膜,包括石墨烯、碳納米管、富勒烯和金剛石薄膜等

    等離子體清洗、金屬表面強化和高聚物表面改性等

大面積線形陣列微波等離子體裝置.jpg

產品特點:

    產品采用模塊化陣列式設計,適合大面積大功率沉積,功率/尺寸可定制,單元模塊功率2kw;

    在等離子體反應室內可產生穩定均勻的大面積高密度微波等離子體,以沉積大面積薄膜材料;

    樣品臺距離線性等離子體的位置可調。樣品臺溫度可以通過微波等離子體加熱,也可通過電加熱方式進一步升溫,電加熱溫度可由用戶自行設定。樣品臺溫度可通過熱電偶及紅外測溫方式獲得;

    樣品臺上可以加0~500V/0~1A可調直流偏壓,直流偏壓電場可均勻分布在樣品臺上;

    等離子體反應室可輸入2~4路反應氣體,氣體流量由MFC控制;

    配備冷卻水循環系統,無水源要求,確保裝置高功率下長時間安全穩定運行。

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