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UP-240大面积线形阵列微波等离子体装置

2017-03-23 作者: admin

功率/尺寸可模块式配置

适合的应用:

    化学气相法沉积大面积碳纳米薄膜,包括石墨烯、碳纳米管、富勒烯和金刚石薄膜等

    等离子体清洗、金属表面强化和高聚物表面改性等

大面积线形阵列微波等离子体装置.jpg

产品特点:

    产品采用模块化阵列式设计,适合大面积大功率沉积,功率/尺寸可定制,单元模块功率2kw;

    在等离子体反应室内可产生稳定均匀的大面积高密度微波等离子体,以沉积大面积薄膜材料;

    样品台距离线性等离子体的位置可调。样品台温度可以通过微波等离子体加热,也可通过电加热方式进一步升温,电加热温度可由用户自行设定。样品台温度可通过热电偶及红外测温方式获得;

    样品台上可以加0~500V/0~1A可调直流偏压,直流偏压电场可均匀分布在样品台上;

    等离子体反应室可输入2~4路反应气体,气体流量由MFC控制;

    配备冷却水循环系统,无水源要求,确保装置高功率下长时间安全稳定运行。

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