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UP-220石英鐘罩式薄膜制備裝置

2017-03-23 作者: admin

適合的應用:

化學氣相沉積法制備石墨烯薄膜、碳納米管薄膜、富勒烯薄膜、金剛石膜和類金剛石膜等高品質碳納米薄膜材料;

化學氣相沉積法制備其他高品質無機薄膜;

等離子體清洗、金屬表面強化和高聚物表面改性等。

MPCVD薄膜制備裝置.jpg

產品特點:

微波頻率2.45GHz,微波功率連續可調,可長時間連續工作;

微波等離子體裝置能量轉化效率高,等離子體活性強密度高,無電極放電,從而避免了電極污染;

產品功率從1.5kw到5kw,有石英管式、石英鐘罩式和金屬諧振腔式等多種產品形式;

產品配有可升降的基片臺和反應氣體均流措施,改善了沉積環境;

基片臺可選加熱和水冷配置以及偏壓電場;

兩路至四路氣體可選,氣體流量控制采用MFC或轉子流量計,氣路管道電化學拋光;

配備冷卻水循環系統,無水源要求,確保裝置高功率下長時間安全穩定運行;

采用干式/濕式機械真空泵,可選配擴散泵與渦輪分子泵。

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