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广东11选5开奖记录 UP-220石英钟罩式薄膜制备装置

2017-03-23 作者: admin

适合的应用:

化学气相沉积法制备石墨烯薄膜、碳纳米管薄膜、富勒烯薄膜、金刚石膜和类金刚石膜等高品质碳纳米薄膜材料;

化学气相沉积法制备其他高品质无机薄膜;

等离子体清洗、金属表面强化和高聚物表面改性等。

MPCVD薄膜制备装置.jpg

产品特点:

微波频率2.45GHz,微波功率连续可调,可长时间连续工作;

微波等离子体装置能量转化效率高,等离子体活性强密度高,无电极放电,从而避免了电极污染;

产品功率从1.5kw到5kw,有石英管式、石英钟罩式和金属谐振腔式等多种产品形式;

产品配有可升降的基片台和反应气体均流措施,改善了沉积环境;

基片台可选加热和水冷配置以及偏压电场;

两路至四路气体可选,气体流量控制采用MFC或转子流量计,气路管道电化学抛光;

配备冷却水循环系统,无水源要求,确保装置高功率下长时间安全稳定运行;

采用干式/湿式机械真空泵,可选配扩散泵与涡轮分子泵。

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