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UP-230不锈钢腔体式薄膜制备装置

2017-03-23 作者: admin

适合的应用

  • 化学气相沉积法制备高品质单晶金刚石(基台直径5厘米)

  • 化学气相沉积法制备石墨烯、碳纳米管、富勒烯和金刚石膜等各种碳纳米薄膜

产品特点:

  • 本产品为不锈钢腔体式5kw微波等离子体设备,功率密度高;

  • 水冷式基片台和水冷式金属反映腔,保证系统能长时间稳定工作;

  • 基片温度以微波等离子体自加热方式达到;

  • 真空测量仪表采用全量程真空计,可精确测量本底真空和工作气体压强;

  • 真空泵及阀门采用涡轮分子泵(极限真空为1×10^-5Pa)和旋片式机械真空泵(极限真空为6×10^-2Pa),装置可调节高真空隔膜阀和并联高真空微调阀控制沉积气压;

  • 配备冷却水循环系统,无水源要求,确保装置高功率下可长时间安全稳定运行;

  • PLC自动控制和手动操作两种操作模式,工艺流程可重复;

  • 可配置沉积气压自动控制模块与全自动工艺控制模块,以便于稳定可靠地制备高品质金刚石薄膜和晶体。

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